［本站讯］4月10日，微电子学院齐“芯”保障临时党支部联合iCAN举办“芯”系未来系列活动第二期，带领同学们通过线上直播方式云游参观山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心超净间实验室。微电子学院教师王一鸣、贾磊担任主讲人。

贾磊简要介绍了实验室相关设备分布和功能分区，向大家展示了实验室的总体布局。新风机组、风淋室、风管、干盘管、水泵、参观走廊……整个实验室井井有条，分区明确。王一鸣从名称、原理、用途、精确度等多个方面详细讲解了超净实验室内的主要大型仪器。微纳加工、薄膜材料生长、设备材料特性分析、太赫兹微波分析、电子器件表征测量……复杂多样的用途指向和精度要求满足了微纳器件与芯片工艺工程需求。无论是依托紫外光或者电子束工作的光刻机，利用磁控溅射或脉冲激光沉积的薄膜生产材料仪器，创造理想操作环境的手套箱，抑或是基于多领域、多原理的高精度专业表征仪器，都让大家耳目一新。

为让大家更好地了解芯片产业前沿科技，王一鸣着重讲解了几类基于上述大型仪器的成果器件。其中包括由太赫兹信号源和太赫兹探测器组成的太赫兹器件，基于新型半导体材料的第三代宽禁带半导体器件，从生活中的手机折叠屏引述到了柔性电子器件。原理图和实图交接呈现，愈发使大家感受到芯片科技与生活的紧密联系。

两位老师还带领大家参观了超净实验室的各个分区，从最基本的清洗台，到先前介绍的激光直写设备、电子束曝光设备、等离子体增强镀膜设备的各类高精尖仪器。两位老师介绍了仪器的工作环境、工作原理以及设备参数，在各类大型仪器间建立逻辑联系。仪器原理和用途与专业课知识的碰撞，促使大家对所学知识有了更为深刻和全面地学习。

此次云游实验室活动深受学生们喜爱，累计有739人观看直播。在疫情防控常态化背景下，本次实验室参观创新了活动形式，采取沉浸式体验的教学方式，让同学们对超净实验室的全貌有了一个全面的认识。