［本站讯］为树牢师生创新意识，营造浓厚学术氛围，紧跟学术前沿，把握行业动态，集成攻关大平台与晶体材料国家重点实验室共同设立“育晶论坛”系列活动。每期论坛邀请领域内杰出专家学者开展主题讲座。

一、讲座题目

SiC/TaC涂层在半导体领域的应用研究

二、主讲人

靳彩霞 研究员

三、主讲人简介

复旦大学物理学博士，美国德州技术大学博士后，华东师范大学物理系研究员、博士生导师。现任深圳市志橙半导体材料股份有限公司副总经理，分管生产制造和石墨基底上的SiC、TaC涂层制备研发。

靳博士从事化合物半导体材料生长和光电器件研发及产业化20多年，在国内外刊物发表论文30余篇，申请专利10余项，承担了多项国家级课题项目，具有丰富的化合物半导体装备研制、材料生长和器件开发经验。

四、主讲内容

耐高温、抗腐蚀SiC/TaC涂层石墨部件广泛应用于宽禁带半导体单晶生长、外延和材料刻蚀工艺。本次报告将介绍石墨基底上SiC层和TaC涂层制备工艺研究以及在半导体领域中产业化的应用进展，重点介绍CVD方法制备SiC涂层以及熔盐蒸镀法制备TaC涂层的研究进展及产业化状况。

五、主持人

李树强 教授

六、讲座时间

2024年5月9日（周四）15：00

七、讲座地点

山东大学中心校区半导体研发大楼第一会议室

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