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新章·新春报道|⑨新春坚守践初心 科研攻关启新程

——集成攻关大平台以实干献礼新春

发布:山东大学融媒体中心 日期:2026年02月11日 点击数:

编者按:春启新章,马跃奔腾;初心如磐,逐梦前行。在丙午启程、山海同庆的佳节氛围中,山大人正以坚守为笔、以奋斗为墨,在建设教育强国的宏伟画卷上,绘就教育科技人才一体推进时代新章。新春启序,暖意渐浓;坚守无言,奋斗有声。这个寒假,山大融媒特别策划“新章”系列新春报道,恰逢“十四五”圆满收官、“十五五”开局的历史节点,循着山大人的奋斗足迹,定格坚守的瞬间、讲述奋进的故事,全力彰显山大人胸怀“国之大者”、勇担时代使命的精神风貌,共同以驰骋之力赴时代之约,以实干笃行绘发展蓝图,在服务国家战略、推进中国式现代化的道路上,书写乘势而上、全面图强的崭新篇章。

[本站讯]攻关不止步,奋斗不停歇,假期留校攻关已成为山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台常态。2026年春节寒假期间,各科研团队依然坚守一线,围绕新一代半导体材料与器件等关键核心技术领域,争分夺秒推进攻关任务,用专业诠释责任,以奋斗开启新年篇章。

碳化硅团队:扎根产研一线,突破尺寸极限

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图:陈秀芳教授(右二)、仲光磊博士(右一)与碳化硅团队成员进行技术讨论

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图:谢雪健教授(右一)与碳化硅团队成员进行参数优化讨论

春节期间,碳化硅单晶生长炉持续平稳运转,晶体在精密控制下悄然成型。实验室中,陈秀芳教授正与团队成员聚焦碳化硅晶圆生长过程中的缺陷控制、应力调控等瓶颈问题开展集中攻关;产业化基地内,谢雪健教授带领研究生针对晶圆生长稳定性展开新一轮参数优化,全力破解产业化应用难题。

过去一年,在集成攻关大平台主任徐现刚教授的统筹引领下,碳化硅攻关团队协同作战、聚力攻坚,率先突破12英寸碳化硅晶圆制备关键技术,全面掌握从晶体生长到精密加工的全链条自主工艺,圆满完成了科技部重大攻关任务验收,以硬核成果递交了年度答卷。

新的一年,团队将继续弘扬“板凳甘坐十年冷”的科研精神,围绕大尺寸碳化硅晶圆应力调控、掺杂均匀性等深层难题持续深耕,坚定不移推进碳化硅技术自主化、高端化发展,为筑牢我国第三代半导体产业链安全贡献智慧与力量。

金刚石团队:攻坚超硬表面,精进加工工艺

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图:王希玮副研究员(左一)与何玉征博士进行实验探讨

新年临近,金刚石材料与器件团队攻关工作紧锣密鼓推进。为突破超硬金刚石单晶材料表面加工难题,探索高质量、高效率的金刚石表面去除工艺,团队师生寒假坚守一线,攻坚金刚石单晶片超硬表面研磨与抛光关键技术。

王希玮副研究员带领团队融合理论模拟与实验验证,系统研究(111)晶面易加工晶向与研磨轴向剪切角的关联机制,通过动态分析研磨过程中厚度与角度的实时变化,确定最优切削方向与解离角度。团队进一步集成高速剪切机械研磨与化学机械抛光工艺,从而获得更高效、更稳定的金刚石表面加工路径。

氧化镓团队:聚焦外延质量,夯实基础研究

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图:李阳教授(左二)与氧化镓团队陶晨宇博士、徐梦凡博士进行实验分析

寒假伊始,氧化镓团队师生以饱满热情持续推进攻关。团队聚焦高质量氧化镓薄膜外延中的缺陷控制与电学性能调控等关键技术难题,开展系统性研究与实验验证。

实验室内,研究生们有序进行材料外延生长、参数测试与性能表征,细致记录数据、优化工艺;导师全程驻守指导,与团队共同分析问题、研讨方案,合力推动氧化镓材料向实用化、高性能化迈进,为我国在新一代半导体领域的核心竞争力提升积累关键力量。

半导体与激光技术团队:在坚守中积淀,在奋斗中成长

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图:半导体与激光技术团队硕士研究生殷媛奋斗在实验室

正值春节临近,半导体与激光技术团队的硕士研究生殷媛感慨道:“年关将至,窗外万家灯火依次点亮,而实验室里的日光灯仍明亮如昼。为了进一步完善论文中的实验数据,我选择继续在这里坚守。每当夜深人静,陪伴我的只有示波器屏幕上跳动的波形,虽然身体偶感疲惫,内心却格外充实。每一个补充的数据、每一次调整的实验,都像是通向梦想的一级级坚实台阶。路虽远,行则将至。我默默祈愿,所有努力最终能汇成顺利毕业的喜悦;也深深期盼,自己倾注心血的这部分工作,能够获得团队的认可与肯定。”

氮化物团队:紧扣产业脉搏,推动量产进程

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图:氮化物团队研究骨干王忠新博士(左二)坚守在氮化镓产业化一线

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图:氮化物团队李秋波博士(左二)与团队在晶镓产业化产线上持续奋战

氮化物团队研究骨干王忠新博士,长期致力于氮化镓单晶生长技术研究。春节期间,他依然坚守在氮化镓产业化一线,“HVPE生长稳定性的每一点提升,都是推动国产氮化镓衬底走向大尺寸、规模化量产的关键一步。春节正是我们集中攻坚、补齐短板的宝贵窗口期,必须争分夺秒,把握机遇。”他带领团队持续调试设备参数、深入分析生长数据,全力突破技术瓶颈,不断提升晶体质量。与此同时,在晶体加工环节,李秋波博士也带领团队在氮化镓产业化产线上持续奋战,专注于氮化镓单晶衬底的精密切割、减薄与抛光等关键工艺,以日复一日的坚守与实干,为氮化镓材料的产业化应用拓宽路径、注入动能。

新一代半导体器件团队:专注测试分析,守护科研希望

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图:新一代半导体器件团队贾垂邦博士(左一)、赵雪敏硕士(右一)开展连续测试与数据分析工作

春节期间,新一代半导体器件团队的科研工作依旧在有条不紊地推进。器件组博士生贾垂邦、硕士生赵雪敏等同学坚守实验室一线,围绕新制备的半导体器件开展连续测试与数据分析工作。面对繁重的实验任务,团队成员紧密协作、分工明确,严格按照操作规范执行每一步流程,全力确保每组实验数据的准确性与可靠性。实验台前,两位同学全神贯注地调试设备,细致记录参数变化,围绕测试结果展开深入讨论,共同探讨工艺优化方案,展现出严谨专注、协同创新的良好科研风貌。

“虽然正值假期,但每一次测试都可能为关键技术带来新的突破。守在实验室,就像是守护着科研前行的希望。”贾垂邦的话语,道出了留校科研人员的共同心声。赵雪敏同学也分享说:“春节期间的坚守,让我更真切地感受到团队协作的力量,也进一步坚定了我们攻克难关、勇攀高峰的信心。”

奋楫扬帆,再启新程。假期里的坚守,正是集成攻关大平台常态化攻坚克难状态的生动缩影,生动展现了新时代科研工作者矢志创新、服务国家的使命担当。新的一年,大平台将投身新一轮核心技术攻关,以更加坚实的科技支撑和更加丰硕的创新贡献,服务国家战略与区域发展,奋力谱写高质量发展新篇章,展现山东大学的使命与担当。


【供稿单位:新一代半导体材料研究院     作者:刘莹莹    责任编辑:孟丽 王一晗 刘晨昕】