［本站讯］11月2日，华中科技大学刘世元教授受邀来信息学院进行学术交流，就光谱椭偏学的原理、仪器及在纳米测量中的应用作报告。
椭偏仪是一种利用光的偏振态改变信息来分析样品的重要科学仪器，广泛应用于材料光学常数、薄膜厚度等参数的测量表征。穆勒矩阵椭偏仪代表了椭偏仪的最高水平，可以测得一个四乘四阶的穆勒矩阵共十六个参数，因而可以获得更为丰富的测量信息。报告中，刘世元教授首先介绍了传统椭偏测量的基本原理及在多层光学薄膜表征中的应用，阐述了IC集成电路、OLED/OPV、柔性电子等领域中普遍采用的超薄层状纳米结构及其测量挑战。此外，刘世元教授还对课题组的若干最新进展进行了详细描述，包括自主研制的国内第一台高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪，及其在IC纳米结构形貌测量、二维材料单原子层膜厚表征、原子层沉积薄膜成核过程原位测量以及卷对卷大面积纳米结构薄膜量产在线监测中的应用。报告最后，刘世元教授展望了椭偏测量的应用前景及未来发展趋势，并对师生提出的疑问进行了详细解答。报告由信息学院光学工程系主任连洁教授主持。
刘世元，华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室教授、博士生导师，国家杰出青年科学基金获得者，科技部中青年科技创新领军人才，国际测量与仪器委员会理事。近年来主持了6项国家自然科学基金、首批国家重大科学仪器设备开发专项等项目，获国际国内发明专利42件，发表SCI论文100余篇，重要国际会议作大会/特邀报告30余次，担任组委会主席，于2014年、2016年分别在武汉、南宁组织召开了第一届和第二届全国椭圆偏振光谱学研讨会。
